高真空工程
高真空阀产品系列
浏览米洛一体式、手动、二段控制、外置型、超高真空、放气与泄压真空阀，以及面向稀释制冷机的定制高真空阀组。
一体式气动高真空挡板阀
米洛一体式气动高真空挡板阀提供MAC/MAO角阀和MLC/MLO直通阀，覆盖KF10–KF50及ISO-K63/80/100，并提供尺寸、参数与3D模型。
查看产品详情 →
手动高真空挡板阀
米洛手动高真空挡板阀包含HAS角阀与HLS直通阀，提供KF16、KF25、KF40规格，采用SUS316L金属成型波纹管，并提供尺寸、参数与3D模型。
查看产品详情 →
二段控制高真空挡板阀
米洛DAC/DLC二段控制高真空挡板阀支持闭合、部分打开和完全打开三种状态，部分开度0.7–3.7 mm可调，并提供控制说明与技术参数。
查看产品详情 →
泄压型高真空挡板阀
米洛泄压型高真空挡板阀兼具真空隔离和过压保护，腔室压力高于大气侧约20 kPa时完全打开，抽真空时自动闭合密封。
查看产品详情 →
外置型气动高真空角阀
米洛NAC/NAO/NAS外置型气动高真空角阀适用于集中阀岛控制，提供KF16、KF25、KF40尺寸、性能参数、3D模型与技术资料。
查看产品详情 →
CF超高真空角阀
米洛CF16/CF40超高真空角阀采用SUS316L一体加工无焊缝阀体和金属波纹管，内外泄漏率低于1×10⁻¹² m³·Pa/s。
查看产品详情 →
放气型高真空阀
米洛放气型高真空阀采用双O型圈动密封，适用于真空腔室放气及中等真空要求，提供KF16、KF25、KF40和KF50规格。
查看产品详情 →
定制高真空阀组
米洛定制高真空阀组面向超导量子计算机稀释制冷机，提供多路阀集成、流路与接口定制、洁净装配、逐路氦检及工程资料，已交付200+台。
查看产品详情 →