高真空工程
手动高真空挡板阀
米洛手动高真空挡板阀包含HAS角阀与HLS直通阀，提供KF16、KF25、KF40规格，采用SUS316L金属成型波纹管，并提供尺寸、参数与3D模型。
手动角阀（HAS）
尺寸表(单位：mm)
| model | A | B | C | D | E | F |
| KF40 | 65 | 65 | 158 | 97 | 65 | 65 |
| KF25 | 52 | 52 | 132 | 78 | 50 | 50 |
| KF16 | 42 | 42 | 107 | 61 | 40 | 40 |
手动直通阀（HLS）
尺寸表(单位：mm)
| model | A | B | C | D |
| KF40 | 65 | 65 | 158.5 | 142 |
| KF25 | 52 | 52 | 132 | 106 |
| KF16 | 42 | 42 | 107 | 93 |
性能参数
| 可选通径 | KF40，KF25，KF16 |
| 可选主体材质 | 铝A6061，不锈钢SUS316L |
| 动密封 | SUS316L金属成型波纹管 |
| 外泄漏率* | <1×10-11 m3•Pa/sec(1×10-10 mbar•L/sec ) |
| 泄漏率* | <1×10-10 m3•Pa/sec(1×10-9 mbar•L/sec) |
| 使用压力 | 1×10-9 mbar to 2000 mbar |
| 正向最大使用压力 | 2000mbar |
| 反向最大使用压力 | 1200mbar |
| 密封材料 | FKM |
| 最高工作气流温度 | 250℃（阀体处于室温冷却环境） |
*注1：外部泄漏率定义为外部空气渗透至阀门内部的速率，主要受密封面的质量和O型圈材料的影响。外部泄漏可通过外部氦气检测发现（低质量的密封面可能依赖真空脂实现临时密封，但真空脂会随时间失效，从而导致外部泄漏加剧。同时，真空脂还会增加阀门的内部泄漏）。
*注2：内部泄漏率受阀门内部清洁度和内部材料的放气性能影响。油污和水渍会显著增加内部泄漏率（表现为检漏仪出现极高的本底）。灰尘、O型圈材料和金属材料的内表面质量也是影响因素，如多孔性的阳极氧化层能严重影响内部泄漏率。