高真空挡板阀

米洛创新(深圳)有限公司

一体式气动高真空挡板阀系列

全球领先的一体式气动高真空挡板阀

高度集成超长寿命洁净无尘美感外观

高度紧凑结构设计，浑然天成的工业美感
高达千万次动作寿命，严苛工况下稳定可靠
极低的电磁阀功率(1.3W)，便捷的电气接线
领先的二线制霍尔磁性开关，漏电流低至6μA
10万级无尘装配车间；三个月包退，一年保修

其他特点：镜面级密封面；内置灰尘过滤器；优异的耐高温性能；四种信号指示；任意可调电气接头朝向；以及严格的清洗与氦检控制。

产品选型资料下载

一体式气动高真空挡板阀系列

一体式真空阀(专利产品)

● 阀门特点：内部集成电磁阀、磁性开关、航空插头、灰尘过滤器、消声器、信号指示灯等部件，加上内置型气缸结构，形成高度紧凑的一体式结构。

● 阀体口径：ISOK100，ISOK80，ISOK63，KF50，KF40，KF25，KF16，KF10

● 阀体材料：铝A6061，不锈钢316L(一体式加工无焊缝，内外抛光)

● 可选型号：常开，常闭，角阀，直通阀

多路集成定制高真空阀组

高真空阀组(定制)

● 特点：将数十个高真空阀集中在一个模块,压缩设备的安装空间以及缩短安装调试时间

● 优势：严格的清洗工艺，严格的真空密封面处理，以及严格的检漏测试，搭配超高寿命的高真空阀芯，确保满足苛严的设备要求

● 应用案例：在超导量子计算机的稀释致冷机设备中，已经成功交付200+台

二段控制气动高真空挡板阀系列

二段控制真空阀(专利产品)

● 通过PID控制，以±0.02mm的精度控制阀门的阀板打开高度，使阀门处于闭合、部分打开、完全打开这三个状态，实现阀门的二段控制功能，即带软启动功能。

● 与传统的双阀门双电磁阀的二段式阀门的电气接线完全一样，客户在电气接线上无需要做任何更改。

● 阀板高度可以实时调整，可调高度范围为0.7~3.7mm。

● 外观与MAC一体式真空角阀的尺寸一致。

手动高真空挡板阀系列

手动真空阀(专利产品)

● 阀门特点：转动旋钮90°，即可实现阀门的开启与关闭；开关到位后自动锁紧；精心设计的人体舒适扭力。

● 阀体口径：KF40，KF25，KF16，KF10

● 阀体材料：铝A6061(外部喷砂氧化，内部铝本体精加工)，不锈钢316L(一体式加工无焊缝，内外抛光)

● 密封形式：超高寿命316L金属波纹管

外置式气动高真空角阀

外置型真空阀

● 传统型阀门，电磁阀与磁性开关置于阀体外部，客户需要自配电磁阀与磁性开关，可选常闭、常开以及双作用

● 适合于阀岛集中控制

● 超高寿命金属成型波纹管，千万次动作寿命

CF法兰超高真空角阀

超高真空阀

● CF法兰，超高真空应用

● 阀体采用SUS316L不锈钢一体加工而成，无任何焊缝，内外表面采用抛光处理，适合对真空要求极高与极可靠的场景

● 内漏与外漏的泄漏率<1x10^-12Pa·m3/s。

放气型高真空阀系列

放气型真空阀

● 特点：不带波纹管，真空动密封采用双O型圈

● 应用：主要用于对真空要求不高的环境，以及真空室的充气，工作压力最高可达5Bar

● 可选口径：KF16，KF25，KF40，KF50

泄压保护型高真空阀

泄压型真空阀

● 兼具真空阀与过压保护功能

● 当腔室侧的压力超过大气侧 20KPa时，阀板会完全打开（可根据客户要求设计合适的压力）

● 腔室抽真空时，阀板会自动吸合密封，泄漏率<1x10^-11Pa·m3/s。

严格的洁净工艺

01
一级清洗

超声波 + 碳氢清洗剂
02
二级清洗

超声波 + 超纯水 + 酒精
03
三级清洗

超声波 + 超纯水
04
精细擦拭

纯酒精 + 人工擦拭

十万级无尘环境零件入库、清洗、组装及包装均在无尘车间进行。
真空出厂包装

严格的质量检验流程

01
功能初检

进行动作、电气性能与气缸密封性测试
02
10,000次开关动作

确保阀门运行成熟、可靠
03
功能复检

再次进行动作、电气性能与气缸密封性测试
04
氦气检漏

严格进行氦气检漏测试

氦检漏率标准

高真空: 外漏＜1×10⁻¹¹ Pa·m3/s · 内漏＜1×10⁻¹⁰ Pa·m3/s
超高真空: 外漏＜1×10⁻¹² Pa·m3/s · 内漏＜1×10⁻¹² Pa·m3/s

Copyright ©米洛创新(深圳)有限公司粤ICP备20059400号