高真空挡板阀

米洛创新(深圳)有限公司

米洛一体式气动高真空挡板阀系列

全球领先的一体式气动高真空挡板阀

高度集成超长寿命洁净无尘美感外观

高度紧凑结构设计，浑然天成的工业美感
高达千万次动作寿命，严苛工况下稳定可靠
极低的电磁阀功率（1.3 W），便捷的电气接线
领先的二线制霍尔磁性开关，漏电流低至6 μA
十万级洁净车间装配；三个月包退，一年保修

其他特点：镜面级密封面、内置灰尘过滤器、优异的耐高温性能、四种信号指示、任意可调的电气接头朝向，以及严格的清洗与氦检控制。

产品选型资料下载

一体式气动高真空挡板阀系列

一体式真空阀（专利产品）

● 阀门特点：阀体内部集成电磁阀、磁性开关、航空插头、灰尘过滤器、消声器和信号指示灯，并采用内置式气缸结构，形成高度紧凑的一体化产品。

● 阀体口径：ISO-K100、ISO-K80、ISO-K63、KF50、KF40、KF25、KF16、KF10

● 阀体材料：A6061铝合金或SUS316L不锈钢（一体加工、无焊缝）

● 可选形式：常开、常闭、角阀、直通阀

多路集成定制高真空阀组

高真空阀组（定制）

● 特点：将数十个高真空阀集成在单一模块中，减少设备安装空间并缩短安装调试时间

● 优势：采用严格的清洗工艺、精密真空密封面处理和氦气检漏，配合长寿命高真空阀芯，满足严苛设备要求

● 应用案例：已为超导量子计算机所用的稀释致冷机成功交付200余台阀组

二段控制气动高真空挡板阀系列

二段控制真空阀（专利产品）

● 采用PID控制，以±0.02 mm的精度调节阀板开启高度，使阀门具有闭合、部分开启和完全开启三种状态；部分开启阶段可实现软抽气功能。

● 其电气接线与传统双电磁阀二段式阀门完全一致，客户无须更改原有接线。

● 部分开启高度可实时调整，调节范围为0.7～3.7 mm。

● 外形尺寸与MAC一体式真空角阀一致。

手动高真空挡板阀系列

手动真空阀（专利产品）

● 阀门特点：旋转旋钮90°即可开启或关闭阀门；到位后自动锁紧；操作扭矩经过优化，手感舒适、省力。

● 阀体口径：KF40、KF25、KF16、KF10

● 阀体材料：A6061铝合金（外部喷砂氧化，内部精密加工）或SUS316L不锈钢（一体加工、无焊缝，内外抛光）

● 密封形式：长寿命SUS316L金属成型波纹管

外置式气动高真空角阀

外置型真空阀

● 电磁阀与磁性开关安装在阀体外部，可由客户另行配置；提供常闭、常开和双作用形式。

● 适用于阀岛集中控制。

● 采用长寿命金属成型波纹管，动作寿命可达千万次。

CF法兰超高真空角阀

超高真空阀

● 采用CF法兰，适用于超高真空系统。

● 阀体采用SUS316L不锈钢一体加工，无任何焊缝；内外表面均经抛光处理，适用于超高真空和高可靠性应用。

● 内部与外部泄漏率：<1×10⁻¹² Pa·m³/s。

放气型高真空阀系列

放气型真空阀

● 特点：不带波纹管，真空动密封采用双O形圈

● 应用：主要用于中等真空工况和真空腔室放气，最高工作压力为5 bar

泄压保护型高真空阀

泄压型真空阀

● 兼具真空隔离与过压保护功能

● 当腔室侧压力高于大气侧20 kPa时，阀板会完全打开（开启压力可按客户要求定制）

● 腔室抽真空时，阀板会自动闭合并形成真空密封，泄漏率<1×10⁻¹¹ Pa·m³/s。

严格的洁净工艺

01
一级清洗

超声波 + 碳氢清洗剂
02
二级清洗

超声波 + 超纯水 + 酒精
03
三级清洗

超声波 + 超纯水
04
精细擦拭

纯酒精 + 人工擦拭

十万级无尘环境零件入库、清洗、组装及包装均在无尘车间进行。
真空出厂包装

严格的质量检验流程

01
功能初检

进行动作、电气性能与气缸密封性测试
02
1万次开关动作

确保阀门运行稳定、可靠
03
功能复检

再次进行动作、电气性能与气缸密封性测试
04
氦气检漏

严格进行氦气检漏测试

氦检漏率标准

高真空: 外漏＜1×10⁻¹¹ Pa·m³/s · 内漏＜1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s
超高真空: 外漏＜1×10⁻¹² Pa·m³/s · 内漏＜1×10⁻¹² Pa·m³/s

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