高真空工程
一体式气动高真空挡板阀
米洛一体式气动高真空挡板阀提供MAC/MAO角阀和MLC/MLO直通阀，覆盖KF10–KF50及ISO-K63/80/100，并提供尺寸、参数与3D模型。
一体式高真空角阀（MAC, MAO）
角阀尺寸表(单位：mm)
| model | A | B | C | D | E | F | G | Z |
| KF50 | 78 | 78 | 189 | 109 | 70 | 70 | 32.2 | 10 |
| KF40 | 65 | 65 | 161.2 | 97.5 | 65 | 65 | 32.2 | 10 |
| KF25 | 52 | 52 | 136.5 | 78 | 50 | 50 | 32.2 | 8 |
| KF16 | 42 | 42 | 113 | 61 | 40 | 40 | 32.2 | 4 |
| KF10 | 42 | 42 | 107 | 61 | 30 | 40 | 32.2 | 4 |
一体式高真空直通阀（MLC,MLO）
直通阀尺寸表(单位：mm)
| model | A | B | C | D | E | G | Z |
| KF50 | 78 | 78 | 178 | 198 | 186 | 32.3 | 10 |
| KF40 | 65 | 65 | 130 | 162.5 | 148 | 32.2 | 10 |
| KF25 | 52 | 52 | 100 | 136 | 122 | 32.2 | 8 |
| KF16 | 42 | 42 | 80 | 114 | 104 | 32.2 | 4 |
| KF10 | 42 | 42 | 80 | 114 | 104 | 32.2 | 4 |
一体式真空阀性能参数
| 可选通径 | ISOK100，ISOK80，ISOK63，KF50，KF40，KF25，KF16，KF10 |
| 可选主体材质 | 铝A6061，不锈钢SUS316 |
| 动密封形式 | SUS316L金属成型波纹管 |
| 驱动气源介质 | 洁净的压缩的空气或惰性气体(过滤精度等级ISO8573-15.4.4)，6mm进气管 |
| 驱动气源压力范围 | 3.5-7 bar |
| 典型气源压力 | 6 bar |
| 外泄漏率* | <1×10-11 m3•Pa/sec(1×10-10 mbar•L/sec ) |
| 泄漏率* | <1×10-10 m3•Pa/sec(1×10-9 mbar•L/sec ) |
| 使用压力 | 1×10-9 mbar to 2000 mbar |
| 正向最大使用压力 | 2000mbar |
| 反向最大使用压力 | 1200mbar |
| 密封材料 | FKM |
| 最高工作气流温度 | 250℃（阀体处于室温冷却环境） |
| 动作寿命 | KF40阀 ≈ 1500万次, KF25、KF16阀≈ 1000万次，KF50阀> 650万次 |
| 电磁阀额定电压 | 24V(±%5) |
| 磁性开关电气参数 | 电压5~28V，漏电流6μA，工作压降约2.5V，最大工作电流0.5A（带短路保护功能为0.35A） |
| LED信号指示 | 上部黄色LED亮(阀门开启)，下部黄色LED亮(阀门关闭），红色LED亮（电磁阀通电） |
| 机械伸出信号指示 | 10mm（可根据客户定制0~10mm） |
*注1：外部泄漏率定义为外部空气渗透至阀门内部的速率，主要受密封面的质量和O型圈材料的影响。外部泄漏可通过外部氦气检测发现（低质量的密封面可能依赖真空脂实现临时密封，但真空脂会随时间失效，从而导致外部泄漏加剧。同时，真空脂还会增加阀门的内部泄漏）。
*注2：内部泄漏率受阀门内部清洁度和内部材料的放气性能影响。油污和水渍会显著增加内部泄漏率（表现为检漏仪出现极高的本底）。灰尘、O型圈材料和金属材料的内表面质量也是影响因素，如多孔性的阳极氧化层能严重影响内部泄漏率。