高真空工程
二段控制高真空挡板阀
米洛DAC/DLC二段控制高真空挡板阀支持闭合、部分打开和完全打开三种状态，部分开度0.7–3.7 mm可调，并提供控制说明与技术参数。
二段控制真空阀（DAC, DLC）
注：外观尺寸与3D模型请参照一体式真空阀
控制方式：
通过控制Input1与Input2的电压信号，可使阀门处于闭合、全开、部分打开这三个状态。 阀门为常闭型，即阀门在断电情况下为闭合状态。
| Input 1 | Input 2 | 阀门状态 | 信号输出 | 信号指示 |
| 0V | 0V | 闭合 | SW2闭合 | LED2 亮 |
| 0V or 24V | 24V | 完全打开 | SW1闭合 | LED1 亮 |
| 24V | 0V | 部分打开 | LED3 亮 |
调节部分打开状态时的阀板高度：
1. 阀门进入部分打开状态(即Input 1 接24V电源信号，Input 2 无输入)。
2. 阀板的可控高度范围为0.7~3.7mm，出厂设定的初始高度为0.7mm（最小可为客户定制0.4mm的打开高度）。
3. 按下up键不松开，LED3每0.5秒闪动一次，阀板每隔0.5秒上升0.04mm，最大高度为3.7mm。松开up键，阀板的位置信息会储存在阀门中，断电后可保持。
4. 按下down键不松开，LED3每0.5秒闪动一次，阀板每隔0.5秒下降0.04mm，最小高度为0.7mm。松开down键，阀板的位置信息会储存在阀门中，断电后可保持。
5. 阀门在接入驱动气源的情况下，按下的up/down键不松开，阀板每隔0.5秒会实时上升/下降0.04mm；在不接入驱动气源的情况下，按下的up/down键，阀板的位置信息会储存在阀门中。比如在第一次操作时，出厂设定的阀板高度为0.7mm，按下up键15秒钟，指示灯共闪动30次，则阀门部分打开时阀板的位置高度为0.7+0.04*(15/0.5)=1.9mm。
二段控制真空阀性能参数
| 可选通径 | ISO-K DN63，KF50，KF40 |
| 可选主体材质 | 铝A6061，不锈钢SUS316L |
| 可选波纹管 | SUS316L金属成型波纹管 |
| 驱动气源介质 | 洁净的压缩的空气或惰性气体(过滤精度等级ISO8573-15.4.4)，6mm进气管 |
| 驱动气源压力 | 3.0±0.2 bar |
| 外泄漏率* | <1×10-11 m3•Pa/sec(1×10-10 mbar•L/sec ) |
| 泄漏率* | <1×10-10 m3•Pa/sec(1×10-9 mbar•L/sec ) |
| 使用压力 | 1×10-9 mbar to 2000 mbar |
| 正向最大使用压力 | 2000mbar |
| 反向最大使用压力 | 1200mbar |
| 密封材料 | FKM |
| 最高工作气流温度 | 250℃（阀体处于室温冷却环境） |
| 电磁阀额定电压 | 24V(±%5) |
| 磁性开关电气参数 | 电压5~28V，漏电流6μA，工作压降约2.5V，最大工作电流0.5A（带短路保护功能为0.35A） |
*注1：外部泄漏率定义为外部空气渗透至阀门内部的速率，主要受密封面的质量和O型圈材料的影响。外部泄漏可通过外部氦气检测发现（低质量的密封面可能依赖真空脂实现临时密封，但真空脂会随时间失效，从而导致外部泄漏加剧。同时，真空脂还会增加阀门的内部泄漏）。
*注2：内部泄漏率受阀门内部清洁度和内部材料的放气性能影响。油污和水渍会显著增加内部泄漏率（表现为检漏仪出现极高的本底）。灰尘、O型圈材料和金属材料的内表面质量也是影响因素，如多孔性的阳极氧化层能严重影响内部泄漏率。