高真空工程
泄压型高真空挡板阀
米洛泄压型高真空挡板阀兼具真空隔离和过压保护，腔室压力高于大气侧约20 kPa时完全打开，抽真空时自动闭合密封。
泄压型真空阀
注：外观尺寸与3D模型请参照一体式真空阀
产品介绍
●安装方法：下法兰接腔室，侧面法兰接大气。
●当腔室侧的压力(P)超过大气侧(ATM) 20 kPa 时，阀板会完全打开（可根据客户要求设计合适的压力）。
●当腔室侧的压力(P)超过大气侧(ATM)约 10 kPa 时，阀板开始会有微小泄漏。
●腔室侧抽真空时，阀板会自动吸合密封。
●外观尺寸同MAC系列一体式真空阀。
技术参数
| 可选主体材质 | 铝A6061，不锈钢SUS316L |
| 动密封 | FKM |
| 外泄漏率* | <1 × 10−12 Pa·m³/s（1 × 10−11 mbar·L/s） |
| 泄漏率* | <1 × 10−11 mbar·L/s（1 × 10−10 Pa·m³/s） |
| 反向最大使用压力 | ≈ 10 kPa |
| 最高工作气流温度 | 250℃（阀体处于室温冷却环境） |
注：泄压型气动高真空角阀的两个法兰口中，侧面的法兰口接大气侧，底面的法兰应接真空侧。腔室侧抽真空时，阀板会自动吸合密封。腔室侧的压力(P)超过大气侧(ATM)约 20 kPa 时，阀板完全打开。