高度集成
单一模块可集成数十个高真空阀，简化系统架构。
一体化，不止于紧凑
节省安装空间
高度紧凑的阀组结构，降低设备内部空间占用。
缩短安装调试
模块化接口与集中装配，减少现场安装和调试工作。
接口按需定制
接口方向、规格与数量可依据设备流路和布局要求定制。
- 高度集成
- 节省安装空间
- 缩短安装调试
- 接口按需定制
严格的清洗与氦检，高标准的质量要求
严格的清洗流程
采用碳氢清洗剂和去离子水进行四轮超声波清洗；清洗过程中多次换向，确保覆盖所有孔洞；最后使用纯酒精人工擦拭所有孔洞与角落。
洁净组装
采用高压洁净风对每个孔洞进行吹扫，整个组装与测试均在十万级无尘车间进行。
1万次动作预运行
安装完成后，先预运行1万次开关动作，确保设备运行成熟、稳定。
逐路独立氦检
对每道密封面进行独立氦检，并经过双人独立确认，确保设备密封性的可靠性。
高端应用
应用场景：超导量子计算机中的稀释致冷机设备 · 已成功交付 200+ 台
把您的真空流程需求交给米洛
提供接口、流导连通与空间布局要求，我们将协助完成阀组工程设计、装配与检漏。