高真空工程
CF超高真空角阀
米洛CF16/CF40超高真空角阀采用SUS316L一体加工无焊缝阀体和金属波纹管，内外泄漏率低于1×10⁻¹² m³·Pa/s。
超高真空角阀
尺寸表(单位：mm)
| model | A | B | C | D | E | F |
| CF40 | 65 | 65 | 159 | 97.5 | 62.8 | 62.8 |
| CF16 | 42 | 42 | 111 | 59 | 38 | 38 |
性能参数
| 可选通径 | CF40，CF16 |
| 可选主体材质 | 不锈钢SUS316L(一体加工无焊缝，镜面抛光) |
| 动密封 | SUS316L金属成型波纹管 |
| 外泄漏率* | <1×10-12 m3•Pa/sec(1×10-11 mbar•L/sec ) |
| 泄漏率* | <1×10-12 m3•Pa/sec(1×10-11 mbar•L/sec ) |
| 使用压力 | 1×10-9 mbar to 2000 mbar |
| 正向最大使用压力 | 2000mbar |
| 反向最大使用压力 | 1200mbar |
| 密封材料 | FKM |
| 最高工作气流温度 | 250℃（阀体处于室温冷却环境） |
*注1：外部泄漏率定义为外部空气渗透至阀门内部的速率，主要受密封面的质量和O型圈材料的影响。外部泄漏可通过外部氦气检测发现（低质量的密封面可能依赖真空脂实现临时密封，但真空脂会随时间失效，从而导致外部泄漏加剧。同时，真空脂还会增加阀门的内部泄漏）。
*注2：内部泄漏率受阀门内部清洁度和内部材料的放气性能影响。油污和水渍会显著增加内部泄漏率（表现为检漏仪出现极高的本底）。灰尘、O型圈材料和金属材料的内表面质量也是影响因素，如多孔性的阳极氧化层能严重影响内部泄漏率。